德国超大试样室扫描电子显微镜MIRA_LC-SEM

德国超大试样室扫描电子显微镜MIRA ( LC-SEM )

    来自德国的“MIRA超大试样室扫描电镜（LC-SEM）”，自从推出后，已在航空、航天及材料科学中得到了广泛应用。LC-SEM可以同时装备多种探测设备（背散射电子成像、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）来满足不同的需求。不仅可以检查大型零部件的物理特性，还可以评价原材料的化学和结晶体特性。几乎对任何样本都可实现非常准确的，直到在分子层面的***检查和分析。

   使用通常扫描电子显微镜时，面临的困难之一是被测样品的大小限制，通常情况下，只能对直径在数十到一百毫米内小的样本进行研究且只有一两种关联的分析工具，这限制了这一重要测试技术的应用。LC-SEM克服了这一点，其超大真空室和光学系统扩展视图功能可容纳直径与高度分别达1.5米，重300kg的样品，分辨率优于10纳米，放大倍数10倍-30万倍，真空度10-6毫巴，加速电压30kv。从一粒沙子到一个柴油发动机大小的样品，不必切小，仅用一台仪器就可以做检查。其足够大的空间还可进行原位观察，实现零部件疲劳、应力/应变、磨损等非破坏性试验研究。